LAM 27-382473-00射频匹配器

LAM 27-382473-00 这个射频匹配器其实是 Comet Technologies 给 Lam Research 代工的Comet 那边的零件号是 20033653。市面上有全新库存和未测试两种状态在流通。产品特点1 Lam Research 设备用的射频匹配器原厂是 Comet Technologies2 Comet 对应零件号 20033653美国品牌但产地是中国3 射频输入功率 5000 瓦连续波工作频率 13.56 MHz4 射频输出 2500 Vrms最大电流 25 Arms5 市面上有全新 surplus 和未测试 as-is 两种状态流通产品参数1 型号 27-382473-00对应 Comet 零件号 200336532 工作频率 13.56 MHz3 射频输入 5000 瓦连续波4 射频输出 2500 Vrms 25 Arms5 带 CE 认证产地中国产品应用领域1 Lam Research 等离子刻蚀设备的射频功率匹配2 PECVD 等离子增强化学气相沉积工艺3 溅射沉积的射频功率匹配4 设备维护或备件替换时用5 老旧 Lam 设备的维修翻新总之这个匹配器就是管射频功率和等离子腔体之间阻抗匹配的跟 Lam 和 Comet 设备搭着用