CVD金刚石单晶片：从实验室到产业化的技术突破

## MPCVD技术路线微波等离子体化学气相沉积MPCVD是目前制备高质量单晶金刚石的主流技术路线。相比传统高温高压HPHT法MPCVD能够实现更高纯度和更大尺寸的单晶生长。## 光学级金刚石的应用光学级CVD金刚石单晶片在红外检测、高功率激光窗口等领域具有不可替代的优势。其宽光谱透过能力220nm至50μm以上峰值透光率可达71%镀膜后98%。## 半导体散热前景随着AI芯片和GaN功率器件的快速发展金刚石以其超高导热率约2000W/(m·K)成为解决高功率密度散热问题的理想材料。硅基MPCVD金刚石复合晶圆兼容现有产线。## 国产替代进行时全球CVD金刚石市场预计2030年将达到180亿美元。国内企业已在光学级单晶的批量化生产上取得突破。