AE 3156360-141 射频消融仪

AE 3156360-141 射频发生器AE 3156360-141 是 Advanced Energy 公司生产的 HF Paramount 6013 型射频电源输出功率 6kW频率 13.56MHz主要用于半导体制造等工艺中的等离子体生成。一、产品特点5条专为等离子体工艺设计的射频电源输出稳定。输出功率 6kW适用于中高功率工艺应用。Advanced Energy 原厂制造品牌可靠。型号 HF Paramount 6013。已通过 CE 认证符合安全标准。二、产品参数5条制造商Advanced Energy零件号 3156360-141。型号HF Paramount 6013。输出6kW13.56MHz。输入电源三相200-208VAC50/60Hz。市场状态多为未测试的二手或库存品流通。三、应用领域5条半导体刻蚀工艺。化学气相沉积CVD。物理气相沉积PVD溅射。等离子体清洗和表面处理。科研及实验室等离子体应用。总结AE 3156360-141 是一款 6kW 工业级射频发生器主要用于半导体等离子体工艺